Реактивное нанесение в вакууме слоев нитрида титана и применение их в системах контактной металлизации полупроводниковых приборов
Сейдман Л.А.Год:
1988
Издательство:
Электроника
Язык:
russian
Файл:
DJVU, 1.74 MB
IPFS:
,
russian, 1988